【術(shù)語】
1、抽氣速率(體積流率)：泵裝有標(biāo)準(zhǔn)測試罩并按規(guī)定條件工作.從測試罩流過氣體量(Q)與測試罩上指定位置測得的平衡壓力的之比，簡稱泵的抽速。
2、極限壓力：泵裝有標(biāo)準(zhǔn)測試罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體的正常工作情況下，趨向穩(wěn)定的壓力。
3、壓縮比：泵入口的氣流量為零，試驗(yàn)氣體在前級區(qū)分壓至少占全壓的90%時，其前級壓力與入口壓力之比。
【試驗(yàn)裝置】
1、測試罩：罩為圓筒形，其軸向尺寸為罩內(nèi)徑D的1.5倍。試驗(yàn)氣體進(jìn)氣管口在測試罩軸線上，距泵入口法蘭為D. 測全壓力的規(guī)管接頭距泵司法蘭為0.5D，其軸線垂直于測試罩軸線;與此規(guī)管接頭或90度另設(shè)一同樣接頭，用來連接殘余氣體分析儀。測試罩應(yīng)配備烘烤裝置。
2、真空計(jì)：真空計(jì)必須校準(zhǔn)。對壓力高于或等于lPa的真空計(jì)，其校準(zhǔn)精度應(yīng)在5%以內(nèi)，對壓力最于lPa的真空計(jì)，其校準(zhǔn)精度應(yīng)在10%以內(nèi)。
3、氣體流量測量裝置：根據(jù)所測流量大小選擇測量氣流量的方法。
【測試方法】
1、采用"定壓法"測試：將測試罩裝在泵上，分子泵按規(guī)定條件運(yùn)轉(zhuǎn)。在整個測試過程中，室溫應(yīng)在15-25C之間的某一溫度。測試時，溫度允許變化lC。測試罩烘烤后，測試系統(tǒng)的溫度應(yīng)均勻，且在15-25C之間，溫度變化不超過3C。
2、極限壓力測量：分子泵啟動1h后，烘烤測試罩，烘烤溫度不超過120C。若泵備有烘烤裝置，應(yīng)按制造廠規(guī)定進(jìn)行烘烤。烘烤持續(xù)時間不得超過24h.在烘烤期間及其以后，測量極限壓力的熱陰極電離計(jì)規(guī)管必須按制造廠規(guī)定進(jìn)行去氣，每10h進(jìn)行一次，最末一次去氣至少應(yīng)在測量極限壓力前5h進(jìn)行。烘烤結(jié)束后48h內(nèi)用熱陰極電離計(jì)測得的壓力，即為分子泵極限壓力。此時，壓力與時闊的關(guān)系曲線的斜率不應(yīng)為正值。
【測試結(jié)果】
a.測試罩的尺寸及所用小孔直徑的數(shù)據(jù);
b.小孔流導(dǎo)及計(jì)算公式;
c.烘烤溫度和持續(xù)時間;
d.所使用的全部測量儀表型號和操作條件
e.測試罩上各接頭簾封形式;
f.所使用潤滑油種類、數(shù)量;
g.前級泵類別、型號及抽速;
h.分子褻電機(jī)功率、消耗功率;
i.分子泵額定轉(zhuǎn)速;
j.環(huán)境溫度及大氣壓。